潔凈室的潔凈度等級劃分主要依據空氣中特定粒徑粒子的濃度。不同國家和行業可能有不同的標準,但國際上廣泛采用的是ISO 14644系列標準。根據這一系列標準,潔凈室被分為ISO Class 1至Class 9級。
檢測方法通常包括以下幾個步驟:
采樣點布置:根據ISO 14644-3標準,采樣點的布置應能代表潔凈室內的平均條件,同時考慮到氣流模式和污染源。
采樣方法:最常用的是粒子計數法,通過使用粒子計數器來測量特定粒徑范圍內的粒子數量。粒子計數器可以測量從0.1微米到10微米或更大粒徑的粒子。
采樣過程:在采樣過程中,粒子計數器會抽取一定體積的空氣樣本,并對樣本中的粒子進行計數。通常,每個采樣點會采集多個體積的空氣樣本,以確保結果的準確性。
數據分析:根據ISO 14644-1標準,計算出每立方米空氣中的粒子數,并與相應的潔凈度等級標準進行比較。
報告編制:將采樣結果整理成詳細的報告,報告中應包含采樣日期、時間、地點、使用的設備型號、采樣點位置、采樣體積、粒子計數結果以及最終的潔凈度等級評定。
為了確保檢測結果的準確性,粒子計數器必須定期接受校準,并且按照相關標準進行操作。此外,潔凈室的檢測還應考慮到操作過程中的動態條件,即在正常生產或實驗條件下進行。
值得注意的是,除了ISO標準之外,還有其他一些標準,例如美國的聯邦標準209E(已被ISO 14644-1取代),以及針對特定行業的標準,如半導體行業的SEMI標準。在檢測時,應根據實際應用和所在地區的法規要求選擇合適的標準。
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