一般是建設潔凈室的工程, 潔凈室(Clean Room), 亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎, 沒有潔凈室, 污染敏感零件不可能批量生產。在 FED‐STD‐2 里面, 潔凈室被定義為具備空氣過濾、 分配、 優化、 構造材料和裝置的房間, 其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度, 從而達到適當的微粒潔凈度級別。凈化工程是在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、 有害空氣、 細菌等污染物排除, 并將室內溫度、 潔凈度、 壓力、氣流速度與氣流分布、 噪音振動及照明、 靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間, 不論外在空氣條件如何變化, 室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、 溫濕度及壓力等性能。 潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度, 使產品能在一個良好之環境空間中生產、 制造, 此空間我們稱之為潔凈室(即凈化工程) 。
1. 拆除工程
盡可能不使用有“火” 的操作, 特別是拆除有可燃性、 爆炸性物質的輸送管線、 排氣 線, 嚴禁用有“火” 操作;當必須使用有“火” 操作時, 應在 1 小時以后確認沒有問題方可離開現場;?對可能產生振動的拆除工作, 應事前同有關方面協調、 確定施工時間:對部分拆除, 其余部分不拆除或尚需使用時, 應妥善處理系統斷開和拆除前的必要測 試工作(流量、 壓力等);當斷開電掘時, 必須有操作電工在場處理有關安全、 操作事宜。
2. 風管施工
嚴格按有關規定進行現場施工, 并應根據改造現場實際情況制定施工及安全規定;妥善檢查、 保存搬入現場的待裝鳳管, 保持管內外的清潔, 兩端應用塑料薄膜封口;打吊裝用膨脹螺栓時將會有振動產生, 應事先同業主等有關人員協調:風管吊裝前取 下封口薄膜, 并擦拭內部后吊裝, 對保留的原有設施中的易損壞部分(如塑料管道、 保溫層 等}不受壓, 宣采取必要的保護措施。
3. 配管配線施工
配管配線所需的焊接作業, 應備好消防滅火器材、 石棉板等;嚴格按配管配線的有關施工驗收規范進行。若現場鄰近處不允許使用水壓試驗時, 可 采用氣壓試驗, 但應按規定采取相應安全措施;當與原有管道連接時, 應事先制定連接前和連接時的安全技術措施, 尤其對于可燃、 有毒氣體、 擅體管道的連接;操作時, 有關方面安全管理人員必須在現場, 必要時要備好消防滅火
器材;對輸送高純介質管道的施工, 陳應遵守有關的規程施工外, 還應特別注意對原有管道連接時的清洗、 吹掃和純度試驗工作的進行。
4. 竣工檢查及試運行
改造潔凈室的竣工驗收首先應按有關標準、 規范對各部分進行檢查、驗收;
這里需強 調的是與原有建筑、 系統相關部位的檢查、 驗收,有的僅檢查、驗收還不能證明能符合改造的目標要求, 還應通過試運行才能得以驗證,
所以既要作好竣工驗收, 也要求施工單位 同業主等共同作好試運行;改造潔凈室的試運行, 包括改造涉及的各相關系統、 設施和設備, 應按相關的標準、 規范要求, 并結合工程的具體情況制定試運行指南和要求,逐一地進行試運行。試運行中應特別注意與原有系統連接部分的拉盒, 新增的管路系統小得對原有系統產生污染, 連接前必須做好檢查測試,連接時應采取必要防護措施, 連接后的試運行必須認真檢查測試,達到要求后才能結束試運行。
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