一、潔凈室的基本知識

（一）什么叫潔凈室

根據“潔凈廠房設計規范”GB50073-2013中名詞解釋，潔凈室就是“空氣懸浮粒子（灰塵、微生物…）濃度受控的房間。其建造和使用方式使房間內進入的、產生的、滯留的粒子最少，同時，還要按生產工藝的要求對房間內的溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等其他相關參數也要受控?！睗崈羰覐V泛地應用在電子（微電子、光電子等）、航天、機械、化工、農業、制藥、醫療、食品、實驗動物飼養、生物安全和生物工程等各行各業。

（二）潔凈室四大技術要素

從潔凈室的建造、使用和維護而言，潔凈室有四大技術要素：

A、潔凈室的凈化空調系統至少應有粗效、中效和高效過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應有高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）。

B、潔凈室送風應有足夠的空調（消除室內余熱、余濕）和凈化（保持潔凈度）送風量。其送風量不僅能消除室內的余熱和余濕，保證室內的溫度和相對濕度，同時還能消除或稀釋室內的粒子污染，保證室內的潔凈度要求。

C、潔凈室必須建立和維持必要的相對壓差（正壓或負壓）。

D、潔凈室應有合理的氣流流型，以保證其室內的潔凈度和溫、濕度等參數。

（三）潔凈室的分類

潔凈室的分類一般按氣流流型來分，還可按使用用途和主要控制對象來分。

A、潔凈室按氣流流型分類

潔凈室按氣流流型來分類可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室、混合流潔凈室和矢流潔凈室。

a、單向流潔凈室

單向流潔凈室的凈化原理是活塞擠壓原理，是潔凈氣流將室內產生的粒子由一端向另一端以活塞型式擠壓出去，用潔凈氣流充滿潔凈室。單向流潔凈室又可分為垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

① 垂直單向流潔凈室是在其吊頂上滿布（≥80%）高效空氣過濾器（或 FFU），經其過濾的潔凈氣流從吊頂用活塞型式以一定的速度，把室內的污染粒子向地面擠壓，被擠壓的污染空氣通過地板格柵排出潔凈室，這樣不斷地進行循環運行來實現潔凈室的高潔凈度。垂直單向流潔凈室可創造最高的潔凈度（1 級~5 級）但是，它的初投資最高、運行費最高。

② 水平單向流潔凈室是在其一面墻上滿布（≥80%）高效空氣過濾器，被其過濾的潔凈空氣以一定的速度用活塞型式將污染粒子擠壓到對面的回風墻，由回風墻排出潔凈室，這樣不斷循環來實現高的潔凈度等級。水平單向流可創造5級的潔凈度等級。其初投資與運行費用也低于垂直單向流潔凈室。水平單向流潔凈室與垂直單向流潔凈室比較，其最大的區別是垂直單向流氣流是由吊頂天花流向地面，所有工作面全部被潔凈的氣流覆蓋。而水平單向流潔凈室的氣流是由送風墻流向回風墻，因此，氣流在第一工作面潔凈度最高，后面的工作面的潔凈度會越來越差。

一、潔凈室的基本知識

（一）什么叫潔凈室

根據“潔凈廠房設計規范”GB50073-2013中名詞解釋，潔凈室就是“空氣懸浮粒子（灰塵、微生物…）濃度受控的房間。其建造和使用方式使房間內進入的、產生的、滯留的粒子最少，同時，還要按生產工藝的要求對房間內的溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等其他相關參數也要受控?！睗崈羰覐V泛地應用在電子（微電子、光電子等）、航天、機械、化工、農業、制藥、醫療、食品、實驗動物飼養、生物安全和生物工程等各行各業。

（二）潔凈室四大技術要素

從潔凈室的建造、使用和維護而言，潔凈室有四大技術要素：

A、潔凈室的凈化空調系統至少應有粗效、中效和高效過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應有高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）。

B、潔凈室送風應有足夠的空調（消除室內余熱、余濕）和凈化（保持潔凈度）送風量。其送風量不僅能消除室內的余熱和余濕，保證室內的溫度和相對濕度，同時還能消除或稀釋室內的粒子污染，保證室內的潔凈度要求。

C、潔凈室必須建立和維持必要的相對壓差（正壓或負壓）。

D、潔凈室應有合理的氣流流型，以保證其室內的潔凈度和溫、濕度等參數。

（三）潔凈室的分類

潔凈室的分類一般按氣流流型來分，還可按使用用途和主要控制對象來分。

A、潔凈室按氣流流型分類

潔凈室按氣流流型來分類可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室、混合流潔凈室和矢流潔凈室。

a、單向流潔凈室

單向流潔凈室的凈化原理是活塞擠壓原理，是潔凈氣流將室內產生的粒子由一端向另一端以活塞型式擠壓出去，用潔凈氣流充滿潔凈室。單向流潔凈室又可分為垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

① 垂直單向流潔凈室是在其吊頂上滿布（≥80%）高效空氣過濾器（或 FFU），經其過濾的潔凈氣流從吊頂用活塞型式以一定的速度，把室內的污染粒子向地面擠壓，被擠壓的污染空氣通過地板格柵排出潔凈室，這樣不斷地進行循環運行來實現潔凈室的高潔凈度。垂直單向流潔凈室可創造最高的潔凈度（1 級~5 級）但是，它的初投資最高、運行費最高。

② 水平單向流潔凈室是在其一面墻上滿布（≥80%）高效空氣過濾器，被其過濾的潔凈空氣以一定的速度用活塞型式將污染粒子擠壓到對面的回風墻，由回風墻排出潔凈室，這樣不斷循環來實現高的潔凈度等級。水平單向流可創造5級的潔凈度等級。其初投資與運行費用也低于垂直單向流潔凈室。水平單向流潔凈室與垂直單向流潔凈室比較，其最大的區別是垂直單向流氣流是由吊頂天花流向地面，所有工作面全部被潔凈的氣流覆蓋。而水平單向流潔凈室的氣流是由送風墻流向回風墻，因此，氣流在第一工作面潔凈度最高，后面的工作面的潔凈度會越來越差。